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電子制造業(yè)潔凈室的特點分析
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信息來源:http://gxgcgjg.com 發(fā)布時間:2015/10/5 20:12:56 點擊數(shù):
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電子制造業(yè)潔凈室的特點:
電子制造業(yè)潔凈室的風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)等都要嚴(yán)格按照要求來控制,照度和潔凈室截面風(fēng)速應(yīng)按照設(shè)計或者規(guī)范來控制。此外,電子制造業(yè)潔凈室對靜電、濕度的控制極其嚴(yán)格。因為過于干燥的廠房內(nèi)極易產(chǎn)生靜電,造成CMOS集成損壞。
一般來說,電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右,相對濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)。這時可有效地控制靜電,并使人也感覺舒適。
芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分,由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格,主要以控制微粒和浮塵為主要對象,同時還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。具體規(guī)定為:
1、電子制造廠萬級潔凈室內(nèi)的噪聲級(空態(tài)):不應(yīng)大于65dB(A)
2、電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%,水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%,否則就是局部單向流了。
3、電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa
4、電子制造行業(yè)萬級潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項中的大值:
5、補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。
6、保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。
7、電子制造行業(yè)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器,應(yīng)設(shè)置新風(fēng),超溫斷電保護(hù),若采用點加濕時應(yīng)設(shè)置無水保護(hù),寒冷地區(qū),新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。
之后,無塵室的送風(fēng)量應(yīng)取下面三項大值:1:保證電子制造廠無塵室空氣潔凈度等級的送風(fēng)量;2:根據(jù)熱,濕負(fù)荷計算確定電子廠潔凈室的送風(fēng)量;3:向電子制造廠潔凈室內(nèi)供給的新鮮空氣量。
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